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SPS放电等离子热压烧结炉

一、设备用途

      SPS放电等离子热压烧结炉是当今世界上最先进的热压烧结系统之一。具有烧结速度快,样品致密度高等优点,是烧结米相材料,梯度功能材料,介孔纳米热电材料,稀土永磁材料,合金玻璃非平衡态材料以及生物材料最有力的工具。并有望取代通常使用电阻加热的热压炉。

 

二、技术参数:

1、电源功率: 100KVA

2、输入电压:AC380V50Hz

3、输出电流:DC0-10000A

4、输出电压:DC0-10V

5、最高温度: 2500℃、工作温度: 2300℃;

6、升温速率: 500/分钟;

7、最大压力: 20T,压头直径: Φ100mm

8、烧结样品尺寸:Φ3060mm

9、最大位移: 100mm

10、冷态极限真空度:  6.67×10-3Pa

11、压力波动: ±0.1MPa

12、压升率: 2Pa/小时;

三、结构说明

SPS快速压力烧结系统是由炉体,大功率脉冲直流电源,液压系统,真空系统, 水冷系统和测温控制等子系统等组成。

1. 炉体

炉体采用双层水冷结构,内外全不锈钢材料,内表面精密抛光,外表面哑光处理。炉体侧部开门装卸模具。炉体侧部安装有双色红外测温仪一支。腔体上部动密封装置是由焊接波纹管实现。上下压头使用不锈钢材料,中央装有水冷装置,密封采用特殊工艺以保证接触电阻小。压头与炉架之间采用了良好的传压和电绝缘材料,保证压力传递准确,以及防止炉架带电。炉体安装在一箱体上,箱体与承压横梁和立柱通过紧固件固定。液压缸安装在上横梁上。

2. 功率脉冲直流电源

由三相380V市电经整流、滤波加至绝缘栅双极型晶体管IGBT组成的逆变电路,由主电路转换成脉宽可调的高频交流(约20KHz),再经以非晶软磁材料为铁芯的高频变压器降压、肖特基二极管整流转换成适于工作需求的低压直流。控制单元输出的控制信号可以对主电路输出做出迅速响应,从而不但给出优良的动、静态输出特性,而且能对各种输入电压的波动予以补偿,并能对各种原因造成的故障做出迅速的保护响应。

工作原理图:

3. 液压系统

液压系统由液压站、油缸、顶杆及控制器组成。液压油缸控制有两种方式,手动或自动。自动运行时,可根据设定的压力自动保压,使制品始终处于恒压状态。液压油缸在有载工作时具有较高的稳定性,不抖动。上顶杆是唯一一个在高温区有载运动的零件,承受高压和高温的作用,又要在高温区运动。要求它既不能变形,又不能在高温环境下不氧化。因此它必须具有良好的冷却条件和动密封性能。整个炉体内的极限真空度在很大程度上取决于上顶杆动密封的情况。采用焊接波纹管达到良好的动密封性能有很高的难度。

4. 真空和充气系统

真空系统是由壹台2X-30机械联泵、壹台K-200扩散泵,气动高真空阀、真空管道、电磁放气阀、过滤器、数显符合真空测量仪等组成。真空管道与泵采用金属波纹软管连接。真空测量仪选用复合数显高真空测量仪,它具有相当宽的测量范围,可实现全程连续真空测量的过程。

5. 充放气系统:

由充放气电磁阀、压力传感器及管路组成。可向工作区内充入保护气体。

6. 水冷系统

冷却水由总管进入,经过各支管送到炉壳、炉盖、炉底、电极、上、下压头、泵等需要冷却的地方,然后汇总到总管排出。每路冷却水都有手动阀门,可以按照需要调节流量大小。进水管上设有电接点压力表,当水压低于0.1Mp时,可自动切断加热器。

7. 电控系统

以控温仪、加热变压器、真空计为核心构成包括供电、控制、监视、记录、报警保护功能在内的电控系统。

温度控制采用进口智能数显程序仪表或温度模块控制,具有PID参数自整定功能,加热电源用低电压大电流可控硅调压器,控制准确,效率高。电气控制系统集中在控制柜中,面板上设计了昆仑通泰触摸屏、建立温度和真空度数据库,清晰反应炉内情况,整洁美观。控制系统采用壹台编程控制器(PLC)实现过程自动控制。操作方式有手动和自动两种,可以任选,自动可根据用户工艺要求及设备要求人工设定好,再无需人工切换,控温精度高,操作方便。单个升温程序可达99段,并实现分段PID控制;

报警系统:对于超温、缺水、真空度不足、冷却气体压力不够、炉内压力过高、加热器过负荷断路等异常情况进行声光报警,并执行相应的保护措施。

机时模块要求:电控系统内安装有机时模块,具备生产结果工艺参数记录历史查询功能,最大可储存查询12周以内历史工艺参数记录信息,并预留MAC地址网口和RJ45通讯接口,支持OPC UA且开放授权,支持MODBUS协议方便与外部数据采集系统进行通讯及数据读取收录。

设备使用历史数据界面参考图: