ZT-75-23真空碳管烧结炉
一、ZT-75-23真空碳管烧结炉结构特点：
1、炉壳、炉盖、炉底等内表面均经精密抛光，光洁度优于Δ6。
2、用氦质谱真空检漏仪做压升率指标检验，快速检测，数据真实可信。
二、ZT-75-23真空碳管烧结炉技术参数
1、额定功率：75KW
2、额定电压：380V、三相、50Hz
3、额定温度：2300℃
4、坩埚尺寸：Φ220×300mm（直径×高）
5、冷态极限真空度：6.67×10-3Pa
6、压升率：≤2Pa/h
7、充气N2、Ar压力（微正压）：≤0.03MPa
8、控温方式：自动进出热电偶+双色红外
三、ZT-75-23真空碳管烧结炉结构组成
1、炉体2、炉盖
3、炉底4、发热元件、隔热屏
5、炉架6、真空系统
7、温控系统8、水冷系统
9、变压器及联接电缆 10、吊臂（100kg）
四、ZT-75-23真空碳管烧结炉结构说明
1、炉体：采用双层水夹层结构，内壁不锈钢（SUS304）精抛光，外壁抛光不锈钢处理。上、下法兰组焊成筒型结构，上法兰平面开有密封槽，采用“0”圈真空密封，并设水冷装置（防止因温度过高“0”圈老化）。炉体设有三相电极孔、控温孔、抽气孔等，采用热电偶/红外测温控温。控温孔增加法兰延长，带有水冷和吹扫装置，以避免材料蒸发污染。使用融石英窗口且便于更换。
2、炉盖：采用双层夹层封头结构，内壁不锈钢（SUS304）精抛光，外壁抛光不锈钢处理。设有CKD电磁阀、排气管、斜向观察孔与屏蔽、锁紧装置及炉盖手动升降启闭装置，并设有水冷装置。
3、炉底：同样采用双层水夹层封头结构，内壁不锈钢（SUS304）精抛光，外壁抛光不锈钢处理。设有CKD电磁阀、进气管、高强高密石墨承料台、CF40法兰接口等，并设水冷装置，随设备提供带盖高纯石墨坩埚两套。
4、发热元件、隔热屏：采用高纯石墨加工成圆筒形的结构，隔热屏采用石墨筒、石墨毡及硬碳毡上盖，加热均匀、辐射面大、耐热冲击性好、可快速加热，外用不锈钢框架支撑固定。电极侧面安装，便于维护。隔热屏障，可以整体拆装，便于维护，提供电极绝缘件壹套和电极、加热体图纸（带尺寸）。隔热屏内带有热电偶，可以在屏幕上显示温度，并设定报警温度。
5、炉架：由型钢及钢板组焊成箱型结构，炉体安放在箱体上。炉架底部和地面有90mm以上间隙，便于叉车搬运。带有小型吊臂，可以吊装100kg坩埚，吊臂可以旋转，吊装孔能正对炉体中心。
6、真空系统：由壹台机械泵配真空压差阀（防止因突然停电、机械泵油倒灌）、壹台罗茨泵、壹台油扩散泵配冷阱（防止油蒸气进入炉膛）、气动高真空挡板阀、气动蝶阀、充放气阀、压力传感器、真空压力表等组成，真空管道与泵采用金属波纹软管快速接头联接（减缓震动），真空度的测量由数显复合真空计（两低一高）执行。腔体和前级都有低真空偶管。罗茨泵支架和地面有90mm以上间隙，便于叉车搬运。在真空管道上增加一套过滤装置，位置在罗茨泵和扩散泵之间。罗茨泵和机械泵之间的真空管道上加装标准真空接口方便使用检漏仪测试，在机械泵出口处安装油气分离装置。高阀和腔体间有挡油板。
7、温控系统：采用可控硅电压调整器控制，柜式外形并设昆仑通态触摸屏，建立温度和真空度数据库，并记录功率输出，清晰反映炉内情况，整洁美观。控制系统采用可编程序控制器（PLC+温度模块）实现无仪表自动控制，电器元件采用德力西和日本和泉品牌，控制柜体按威图标准制作，控温精度高，操作方便。设备具有真空异常并降温功能，当真空度低于设定数值时，报警并运行设定加热功率。在控制系统内设定一键启动和一键停止按钮，方便设备运转和关闭。
8、水冷系统：与炉体一体式设计，在平台下端设计，由各种管道阀等相关装置组成，具有断水声光报警切断电源功能。循环水系统集中配置，安装电极用水流指示器。
9、变压器及联接电缆：采用与使用功率相匹配的变压器及电缆。炉体电极处加装绝缘保护罩。变压器有排热风扇。
10、配合使用联合研制的研发协议手续。
11、控制柜具备防尘、防杂物功能。
