操作步骤
准备阶段
检查水源、电源和气源,确保冷却水充足且无杂质。
验证真空泵、石墨坩埚、密封胶带等部件状态正常,清洁炉体观察孔。
启动与抽真空
合上电源,启动水泵和冷却系统,调节水压至规定值。
手动测试真空泵后启动,缓慢打开蝶阀抽真空至目标值(如-0.1MPa)。
烧结过程
真空达标后启动变频器,按工艺设置温度(如预热区600℃–760℃,烧结区1080℃–1150℃)。
监控炉内状态,通过观察孔检查感应圈是否异常,调整气氛流量(如N20–30m3/h)。
冷却与关机
烧结完成后停止加热,断开中频电源。
炉温降至200℃以下停供保护气体,100℃以下关闭总电源。
保持冷却至150℃以下再停水,取出样品后重新抽真空维护炉内环境。
安全与维护
安全注意事项
中频电压750伏,禁止接触电柜;真空蝶阀需缓慢开启以防冒油。
异常(如网带停转或感应圈放弧)立即停机并上报。
易挥发污染物不得入炉,装料需按规范操作。
维护保养
定期清洁炉体、检查密封件和冷却系统,每年校准仪表。
网带破损及时修补,石墨模具压力控制在30MPa以下。

