真空感应烧结炉(vacuum induction sintering furnace)是指在真空状态下，通过感应线圈产生的磁场使坩埚感应发热，再加热烧结坩埚中工件的真空烧结炉。此款设备最高温度能达到3200℃，因此冠以超高温的头衔。超高温真空感应烧结炉采用间接感应加热，热能在坩埚壁中产生，工件所受到的是坩埚的辐射热。
超高温真空感应烧结炉主要用于特种复合材料或硬质合金、铜钨合金、钛合金等合金材料的真空气氛烧结。主要由炉壳、感应器、坩埚、工件托架、供电装置、绝热层、水冷系统、通气系统等部分组成，炉壳上设有测温装置、观察装置等。
技术参数：
1、电源容量： 100 Kw
2、中频频率： 2000～4000 Hz（自动跟踪）
3、最高温度： 3100 ℃（保温时间不小于2小时）
长期工作温度： 2800-3000 ℃
4、升温速率： 50～60 ℃/min（室温～1000 ℃）
35～40℃/min（1000～1600℃）
30～35℃/min（1600～2300℃）
25～30℃/min（2300～2800℃）
15～20℃/min（2800～3200℃）
5、控温精度: ±2 ℃
6、测温方式： 1000～3200℃采用福禄克双色红外仪。
7、有效工作区尺寸： Φ 200×250 mm（内径×高）
8、冷态极限真空度： 6.67×10-3（空炉、烘烤除气结束后）
9、压升率： 4.0 Pa/h
10、炉内气氛： Ar、He
11、进出料方式： 采用顶部装出料
设备结构简介：
1、炉体结构与感应熔炼炉相似，区别在于无需倾倒装置；感应线圈内设有保温层。
2、机械泵和扩散泵组真空系统和炉腔内壁抛光，保证烧结产品的真空要求。
3、IGBT中频电源、PLC可编程控制器+温度控制及触摸屏组成的电气控制系统，具备过压、过流、断水等声光报警功能；操作方式可手动/自动切换，控温精度高，操作方便。
4、充气系统和水冷系统的操作也集成于触摸屏上。
