小型流化床沉积炉主要用于基于流化床化学气相沉积的相关涂层材料制备和相关工艺过程研究。流化床沉积炉及辅助设备由流化床沉积炉和真空系统、循环冷却水系统、加热电源及温控系统等辅助设备组成。用途分为如下几点：
（1）验证垂直流化床单边加热机制；
（2）进行热态卸料的冷却流化床；
（3）与包覆颗粒制备中间产物和副产物测试系统联合使用；
（4）小型流化实验及涂层制备。
流化床沉积炉发热体为石墨材质，选用红外高温计监控工艺温度。在流化床沉积炉及附属管路上设置循环冷却水系统。流化床沉积炉配有真空系统，用于流化床沉积炉升温前抽真空和辅助卸料。沉积热解炭层的反应气体由专门的配气系统控制输送。沉积前躯体由另外专门设计制造的系统供给和控制（不包含在本技术规格书之内）。整个生产过程通过操作柜控制系统，可以采用人工手动和计算机全自动控制两种方式进行操作。
一、结构特点：
1、炉壳、炉盖、炉底等内表面均经精密抛光，光洁度优于Δ6。
2、用氦质谱真空检漏仪进行压升率指标检验，快速检测，数据真实可信。
二、技术参数：
1、额定功率： 30Kw
2、电源： 380V、三相、50Hz
3、最高温度： 1800℃
4、工作区尺寸： Φ80×200 mm
5、冷态极限真空度： 100 Pa
6、压升率： ≤ 3.0 Pa/h
7、充气Ar, N2、H2压力（微正压）： ≤ 0.03 MPa
8、控温方式： 红外测温仪T40-MT-70-SF2-2
450~1800℃
