SCN-氮化硅制粉炉是采用反应烧结直接氮化工艺制备氮化硅粉的专用设备。该设备是在常规碳棒炉的基础上进行了机械、电气控制、工艺流程的更新和优化,操作简便、过程参数稳定、安全高效,保证所制备的氮化硅粉质量稳定,有效成份含量高。
SCN-氮化硅制粉炉其主要生产过程及生产工艺是将硅粉或硅粉与氮化硅粉的混合料放入炉内料盘上,先在1150~1200℃预氮化,接着在1350~1450℃进一步氮化18~36小时直到完全氮化。在氮化过程中可以通入氢气进行还原,也可以通入氩气进行保护,具体操作由用户依据自有工艺确定。
SCN-氮化硅制粉炉采用硅钼棒做发热元件,最高温度可达1700℃。制粉炉的大小尺寸和加热功率可根据用户的需求进行设计和制造。